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“多功能磁控离子溅射复合镀膜机 TSU650 北京泰科诺科技”参数说明
| 是否有现货： | 否 | 认证： | IS0:9001 |
| 加工定制： | 是 | 品牌： | 泰科诺 |
| 镀种： | 真空镀膜 | 适用范围： | 金属膜、介质膜、半导体膜等等 |
| 产品别名： | 多功能镀膜机 | 电镀电源： | 双脉冲电源 |
| 型号： | TSU650 | 规格： | Φ650×H650mm |
| 商标： | 泰科诺 | 包装： | 木箱 |
| 产量： | 15 |
“多功能磁控离子溅射复合镀膜机 TSU650 北京泰科诺科技”详细介绍
一、产品概述
1、适用：广泛用于大专院校、研究院所和企业器件研发制造及小批量试产。
2、产品特点：配置圆形磁控溅射靶、矩形磁控溅射靶、多弧靶、磁过滤弧源等，兼具磁控、离子镀等多种功能，适用于有多种镀膜需求的高校科研单位。
3、主要用途：
►该设备可用于制备单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜、传感器膜及耐热合金膜、硬质膜、耐腐蚀膜等；
►膜层示例：银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氮化钛、碳化钛、氮化钛铝、氮化铬、氧化钛、氧化铝、ITO、二氧化硅等；
►应用：刀具、模具、电子配件、金属外壳、陶瓷基片等。
二、技术参数
| 型号 | TSU650 |
| 真空腔室结构 | 立式圆柱形前开门，双层水冷 |
| 真空腔室尺寸 | Φ650×H650mm |
| 旋转工件架 | Φ350×H400mm，4~6工位公/自转工件架 |
| 工件架烘烤温度 | 室温～500±5℃，可调可控（PID控温） |
| 工件架运动方式 | 0~5RPM可调 |
| 辅助离子源 | 偏压、线性离子源辅助（可选） |
| 阴极 | 矩形磁控靶、平面弧源、磁过滤弧源、圆形平面靶（可选） |
| 控制方式 | PLC控制/工控机全自动控制（可选） |
| 占地面积 | 主机L2780×W1200×H2020mm |
| 总功率 | ≥70KW |
矩形靶放电
新型多弧
离子源放电